激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器在無塵車間的使用
瀏覽次數(shù)：1910發(fā)布日期：2020-07-17
激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是新一代觸摸屏便攜式塵埃粒子計(jì)數(shù)器，儀器采用彩色觸摸屏，外形美觀大氣，機(jī)身采用鋁合金材料，表面噴細(xì)砂銀灰色處理，小巧輕便；采用直流氣泵，連續(xù)工作穩(wěn)定，超低噪音，節(jié)能環(huán)保；內(nèi)置進(jìn)口數(shù)字流量傳感器，采樣流量動態(tài)準(zhǔn)確控制；供電可使用交流供電，也可使用內(nèi)置的大容量鋰電池供電，方便應(yīng)用于無交流電場所的移動檢測。儀器是目前藥廠，電子廠快速檢測潔凈室潔凈度的首要之選，其主要應(yīng)用范圍包括：
潔凈室（區(qū)）潔凈度的測試；
電子廠、藥廠潔凈室的日常維護(hù)監(jiān)測；
高濃度氣溶膠的測量；
空氣中懸浮粒子的測量。
集成電路制造業(yè)是需要在一個超凈環(huán)境中進(jìn)行的，它是使用超純材料進(jìn)行超精細(xì)加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有嚴(yán)格的要求，不同的工藝對清潔度有不同的要求。
半導(dǎo)體集成電路在生產(chǎn)過程中會接觸到很多污染物，比如無機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外，不適當(dāng)?shù)臏囟取穸取⒐庹铡㈧o電超標(biāo)、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過一定限度時，集成電路產(chǎn)品會出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導(dǎo)致電路泄漏和異常電氣特性，輕則影響電路性能和使用壽命，重則導(dǎo)致電路報廢。
鑒于此需要使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器來對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測，保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn)，塵埃粒子計(jì)數(shù)器配置簡單，可從一個儀器轉(zhuǎn)移到另一個儀器，易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱，多功能安裝選項(xiàng)，無縫集成到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)。
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